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        新聞中心/ news center

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        • 2025-04-28

          晶圓清洗機是半導體制造過程中至關重要的設備之一,主要用于清洗晶圓表面上的雜質、污垢和化學殘留物,以確保晶圓表面的潔凈度和質量。這些雜質和污染物的存在可能會影響后續的光刻、蝕刻、沉積等工藝,進而影響芯片的性能和可靠性。因此,晶圓清洗是半導體生產中一個關鍵的工藝步驟。晶圓清洗機的工作原理:1.超聲波清洗:利用超聲波的高頻振動將晶圓表面上的污垢、污染物分散開來。超聲波的作用可以有效去除微小的顆粒和化學殘留物。2.噴淋清洗:使用高壓的噴淋系統將化學溶液噴射到晶圓表面,幫助去除污染物。...

        • 2025-03-27

          全自動磁控濺射系統是一種高效的薄膜沉積設備,廣泛應用于材料科學、半導體、光電顯示、太陽能電池和傳感器等研究與產業領域。該系統利用磁控濺射技術,在真空環境中將靶材中的原子或分子高效地沉積到基底上,從而形成所需的薄膜。全自動磁控濺射系統的工作原理:1.真空環境:先需要在真空室內創建一個高真空環境,以減少氣體分子對濺射過程的干擾并提高沉積質量。2.靶材準備:將靶材(通常由金屬、合金或陶瓷材料組成)固定在系統的靶位上,靶材是薄膜的主要成分。3.等離子體生成:系統通過在真空室內引入惰性...

        • 2025-01-19

          全自動磁控濺射系統是一種用于薄膜沉積技術的設備,廣泛應用于半導體、光電、光學薄膜、傳感器等領域。該系統利用高能離子束轟擊靶材,通過物質濺射的方式,在基材表面沉積薄膜。全自動磁控濺射系統的基本原理:1.氣體離子化:在高真空環境中,惰性氣體(如氬氣)被導入腔體,施加高頻電壓形成等離子體,使氣體部分離子化。2.離子加速:離子被電場加速并朝向靶材運動。3.靶材濺射:高速運動的離子與靶材發生碰撞,使靶材表面原子獲得足夠的能量,從而逸出表面,形成濺射物質。4.薄膜沉積:濺射出的原子在腔體...

        • 2024-12-26

          磁控濺射是一種常用的物理氣相沉積(PVD)技術,廣泛應用于薄膜材料的制備。其基本原理是利用高能粒子轟擊靶材,導致靶材原子或分子逸出,并在基材表面沉積形成薄膜。該過程通常在真空環境中進行,以確保沉積過程中的純凈和無污染。全自動磁控濺射系統的部分組成:1.真空腔體:作為整個濺射過程的核心部分,真空腔體配備有高效的抽真空系統,確保低壓環境。2.靶材和基材架:靶材通常采用高純度的金屬或合金,根據不同的沉積需求選擇;基材架則負責固定待涂覆的基材,確保在濺射過程中的穩定性。3.磁場系統:...

        • 2024-12-03

          飛行時間二次離子質譜法(TOF-SIMS)是一種高度靈敏的表面分析技術,可揭示樣品頂部幾個原子層的質譜數據。Kore很榮幸成為InnoviaFilms的TOF-SIMS供應商,InnoviaFilms是一家材料科學公司,為包括標簽、包裝以及錢幣在內的各種產品生產基礎膜。InnoviaFilms與Kore接洽,要求研究其高度差異化的雙向拉伸聚丙烯(BOPP)薄膜的不同表面處理。Kore設計的SurfaceSeer儀器成為Kore后續TOF-SIMS儀器的基礎,并為Innovia...

        • 2024-11-25

          便攜式飛行時間質譜儀(PortableTime-of-FlightMassSpectrometer,TOF-MS)是一種高靈敏度、高分辨率的分析工具,廣泛應用于環境監測、食品安全、藥物檢測、軍事安全等領域。與傳統的實驗室質譜儀相比,具有體積小、重量輕、操作簡便等特點,使其能夠在現場快速進行分析和檢測。便攜式飛行時間質譜儀的工作原理:1.樣品離子化:樣品先通過離子化源被轉化為離子。常見的離子化方法包括電噴霧離子化(ESI)、基質輔助激光解吸/電離(MALDI)和化學離子化(CI...

        • 2024-10-28

          全自動磁控濺射系統是現代薄膜材料制備技術中一種重要的設備,廣泛應用于半導體、光電、超導材料和光學薄膜等領域。此系統以其高效率、高均勻性和良好的膜層特性而受到重視。通過精確的控制技術,自動化濺射過程使得膜層的性能更為穩定并可重復,大幅提高了生產效率。全自動磁控濺射系統的結構組成:1.真空腔體:提供低壓環境,通常采用不銹鋼或鋁合金制作,具有很好的密封性與耐腐蝕性。2.靶材:用于濺射的材料,常見的有金屬、合金或化合物。靶材的選擇直接影響薄膜的成分和性能。3.磁控裝置:通過調整磁場的...

        • 2024-09-27

          全自動ICP刻蝕系統是一種先進的半導體制造設備,廣泛應用于微電子、光電器件及MEMS(微電機械系統)等領域。ICP(感應耦合等離子體)刻蝕技術以其高效率、高選擇性和良好的均勻性而受到青睞。ICP刻蝕是一種利用感應耦合等離子體產生高密度等離子體,并通過對其進行控制來實現對材料的去除過程。在該技術中,氟化氣體等化學試劑通過噴嘴進入反應室,與等離子體中的電子和離子發生碰撞,形成活性物種,在材料表面發生化學反應,進而實現刻蝕。全自動ICP刻蝕系統的部分組成:1.反應室:用于進行刻蝕反...

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